Pastrimi i sipërfaqes së plazmës është një proces në të cilin papastërtitë dhe ndotësit e sipërfaqes së mostrës hiqen nga krijimi i plazmës me energji të lartë nga grimcat e gazta, ai është projektuar për aplikime të ndryshme si pastrimi i sipërfaqes, sterilizimi i sipërfaqes, aktivizimi i sipërfaqes, ndryshimi i energjisë sipërfaqësore, përgatitja e sipërfaqes për ngjitje dhe ngjitje, modifikim i kimisë së sipërfaqes.